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J-GLOBAL ID：200902247108168100 整理番号：08A0107278

2成分混合溶液を用いたCVD新気化供給法の構築

Construction of New CVD Evaporation Supply Method by Flashing Spray

著者 (7件)：

土田倫也

(同志社大大学院)

木村大一郎

(同志社大大学院)

大嶋元啓

(同志社大大学院)

富永浩二

(堀場製作所)

中尾基

(九州工大)

千田二郎

(同志社大)

石田耕三

(堀場製作所)

資料名：

日本機械学会年次大会講演論文集 (日本機械学会年次大会)

巻： 2007 号： Vol.7 ページ： 171-172 発行年： 2007年09月07日
JST資料番号： X0587B 資料種別：会議録 (C)
記事区分：短報発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

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