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文献
J-GLOBAL ID：200902247346833537
整理番号：04A0310107
バルク加工による円筒型圧電振動子を用いたマイクロ超音波モータの特性評価
牧野明
(岡山大)
,
神田岳文
(岡山大)
,
鈴森康一
(岡山大)
,
小野智久
(岡山大)
,
森田剛
(東北大)
,
黒沢実
(東京工大)
資料名：
精密工学会大会学術講演会講演論文集
(精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2004 号： 春季(CD-ROM) ページ： J07 発行年： 2004年03月01日
JST資料番号： Y0914A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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