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文献
J-GLOBAL ID：200902247441312390
整理番号：08A0548962
Al極性窒化アルミニウムの質を三ステージの流量変調有機金属化学蒸着法による改善
Improvement of Al-Polar AlN Layer Quality by Three-Stage Flow-Modulation Metalorganic Chemical Vapor Deposition
TAKEUCHI Misaichi
(RIKEN, Saitama, JPN)
,
TAKEUCHI Misaichi
(Tokyo Inst. of Technol., Yokohama, JPN)
,
TAKEUCHI Misaichi
(Ritsumeikan Univ., Shiga, JPN)
,
OOISHI Shin
(Tokyo Inst. of Technol., Yokohama, JPN)
,
OHTSUKA Takumi
(Tokyo Inst. of Technol., Yokohama, JPN)
,
MAEGAWA Tomohiro
(Tokyo Inst. of Technol., Yokohama, JPN)
,
KOYAMA Takahiro
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
,
CHICHIBU Shigefusa F.
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
,
AOYAGI Yoshinobu
(RIKEN, Saitama, JPN)
,
AOYAGI Yoshinobu
(Tokyo Inst. of Technol., Yokohama, JPN)
,
AOYAGI Yoshinobu
(Ritsumeikan Univ., Shiga, JPN)
資料名：
Applied Physics Express
(Applied Physics Express)
巻： 1 号： 2 ページ： 021102.1-021102.3 発行年： 2008年02月25日
JST資料番号： F0599C ISSN： 1882-0778 CODEN： APEPC4 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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