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文献
J-GLOBAL ID：200902247490916129
整理番号：04A0359159
6H炭化けい素/二酸化けい素の界面における捕獲欠陥の構造
Structure of 6H silicon carbide/silicon dioxide interface trapping defects
MEYER D J
(Pennsylvania State Univ., Pennsylvania)
,
BOHNA N A
(Pennsylvania State Univ., Pennsylvania)
,
LENAHAN P M
(Pennsylvania State Univ., Pennsylvania)
,
LELIS A J
(U.S. Army Res. Lab., Maryland)
資料名：
Applied Physics Letters
(Applied Physics Letters)
巻： 84 号： 17 ページ： 3406-3408 発行年： 2004年04月26日
JST資料番号： H0613A ISSN： 0003-6951 CODEN： APPLAB 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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