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文献
J-GLOBAL ID：200902247919145509
整理番号：03A0443389
ヘリウムバックグラウンドガスにおけるシリコンナノ粒子のイオンビーム帯電 イオンビームエーロゾル帯電器の設計
Ion beam charging of silicon nanoparticles in helium background gas: Design of the ion beam aerosol charger
SETO T
(National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Tsukuba, JPN)
,
ORII T
(National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Tsukuba, JPN)
,
HIRASAWA M
(National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Tsukuba, JPN)
,
AYA N
(National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Tsukuba, JPN)
,
SHIMURA H
(National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Tsukuba, JPN)
資料名：
Review of Scientific Instruments
(Review of Scientific Instruments)
巻： 74 号： 6 ページ： 3027-3030 発行年： 2003年06月
JST資料番号： D0517A ISSN： 0034-6748 CODEN： RSINAK 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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