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文献
J-GLOBAL ID：200902248048159200
整理番号：05A0520501
Cl,F系ハロゲンガスの非平衡プラズマ分解に及ぼすO2濃度の影響
Influence of O2 Concentration on Non-thermal Plasma Decomposition of Halide Gases Containing Cl and F
藤田隆文
(名古屋大 大学院工学研究科)
,
張崇昭
(名古屋大 大学院工学研究科)
,
小島義弘
(名古屋大 エコトピア科研)
,
松田仁樹
(名古屋大 大学院工学研究科)
,
HUANG Liwei
(Zhejiang Univ. Technol., Zhejiang, CHN)
資料名：
化学工学論文集
巻： 31 号： 3 ページ： 226-230 発行年： 2005年05月20日
JST資料番号： S0110B ISSN： 0386-216X CODEN： KKRBAW 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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