文献
J-GLOBAL ID:200902248058494457
整理番号:03A0284292
シュードモルフィック・シリコンゲルマニウム/シリコンヘテロ構造への酸素注入による緩和シリコンゲルマニウム-オン-絶縁体基板
Relaxed silicon-germanium-on-insulator substrates by oxygen implantation into pseudomorphic silicon germanium/silicon heterostructure
著者 (9件):
AN Z
(City Univ. Hong Kong, Hong Kong, CHN)
,
WU Y
(Shanghai Inst. Microsystem and Information Technol., Shanghai, CHN)
,
ZHANG M
(Shanghai Inst. Microsystem and Information Technol., Shanghai, CHN)
,
LIN C
(Shanghai Inst. Microsystem and Information Technol., Shanghai, CHN)
,
FU R K Y
(City Univ. Hong Kong, Hong Kong, CHN)
,
CHEN P
(City Univ. Hong Kong, Hong Kong, CHN)
,
CHU P K
(City Univ. Hong Kong, Hong Kong, CHN)
,
CHEUNG W Y
(Chinese Univ. Hong Kong, Hong Kong, CHN)
,
WONG S P
(Chinese Univ. Hong Kong, Hong Kong, CHN)
資料名:
Applied Physics Letters
(Applied Physics Letters)
巻:
82
号:
15
ページ:
2452-2454
発行年:
2003年04月14日
JST資料番号:
H0613A
ISSN:
0003-6951
CODEN:
APPLAB
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)