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文献
J-GLOBAL ID：200902248544452529
整理番号：09A0508904
単結晶シリコン切削初期段階のデジタル顕微鏡観察
Digital microscope observation of the initial stage of cutting monocrystalline silicon
INAMURA T.
(Nagoya Inst. of Technol., Gokiso-cho, Showa-ku, Nagoya, JPN)
,
SHISHIKURA Y.
(Nagoya Inst. of Technol., Gokiso-cho, Showa-ku, Nagoya, JPN)
,
TAKEZAWA N.
(Nagoya Inst. of Technol., Gokiso-cho, Showa-ku, Nagoya, JPN)
資料名：
CIRP Annals. Manufacturing Technology
(CIRP Annals. Manufacturing Technology)
巻： 58 号： 1 ページ： 69-72 発行年： 2009年
JST資料番号： E0026A ISSN： 0007-8506 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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