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文献
J-GLOBAL ID：200902248582481125
整理番号：04A0035428
真空アークプラズマ蒸蒸着法により堆積した透明導電性ZnO薄膜
Transparent conducting ZnO thin films deposited by vacuum arc plasma evaporation
MINAMI T
(Kanazawa Inst. Technol., Ishikawa, JPN)
,
IDA S
(Kanazawa Inst. Technol., Ishikawa, JPN)
,
MIYATA T
(Kanazawa Inst. Technol., Ishikawa, JPN)
,
MINAMINO Y
(Kanazawa Inst. Technol., Ishikawa, JPN)
資料名：
Thin Solid Films
(Thin Solid Films)
巻： 445 号： 2 ページ： 268-273 発行年： 2003年12月15日
JST資料番号： B0899A ISSN： 0040-6090 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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