文献
J-GLOBAL ID:200902249255055372
整理番号:04A0555355
Torr圧力領域のラジオ周波数水素プラズマにおける化学と放電動力学の連結の研究
Investigation of coupling between chemistry and discharge dynamics in radio frequency hydrogen plasmas in the Torr regime
著者 (6件):
KALACHE B
(Ecole Polytechnique, Palaiseau, FRA)
,
NOVIKOVA T
(Ecole Polytechnique, Palaiseau, FRA)
,
FONTCUBERTA I MORRAL A
(Ecole Polytechnique, Palaiseau, FRA)
,
ROCA I CABARROCAS P
(Ecole Polytechnique, Palaiseau, FRA)
,
MORSCHEIDT W
(LIMHP, CNRS, Villetaneuse, FRA)
,
HASSOUNI K
(LIMHP, CNRS, Villetaneuse, FRA)
資料名:
Journal of Physics. D. Applied Physics
(Journal of Physics. D. Applied Physics)
巻:
37
号:
13
ページ:
1765-1773
発行年:
2004年07月07日
JST資料番号:
B0092B
ISSN:
0022-3727
CODEN:
JPAPBE
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)