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文献
J-GLOBAL ID：200902249641662275
整理番号：04A0370357
深UVリソグラフィーにより作製した低損失SOIフォトニックワイヤとリング共振器
Low-Loss SOI Photonic Wires and Ring Resonators Fabricated With Deep UV Lithography
DUMON P
(Ghent Univ.-IMEC, Gent, BEL)
,
BOGAERTS W
(Ghent Univ.-IMEC, Gent, BEL)
,
WIAUX V
(IMEC vzw, Leuven, BEL)
,
WOUTERS J
(IMEC vzw, Leuven, BEL)
,
BECKX S
(IMEC vzw, Leuven, BEL)
,
VAN CAMPENHOUT J
(Ghent Univ.-IMEC, Gent, BEL)
,
TAILLAERT D
(Ghent Univ.-IMEC, Gent, BEL)
,
LUYSSAERT B
(Ghent Univ.-IMEC, Gent, BEL)
,
BIENSTMAN P
(Ghent Univ.-IMEC, Gent, BEL)
資料名：
IEEE Photonics Technology Letters
(IEEE Photonics Technology Letters)
巻： 16 号： 5 ページ： 1328-1330 発行年： 2004年05月
JST資料番号： T0721A ISSN： 1041-1135 CODEN： IPTLEL 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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