文献
J-GLOBAL ID:200902249963802510
整理番号:05A0682224
走査プローブ顕微鏡リソグラフィーによるナノ作製 レビュー
Nanofabrication by scanning probe microscope lithography: A review
著者 (3件):
TSENG Ampere A.
(Arizona State Univ., Arizona)
,
NOTARGIACOMO Andrea
(Roma TRE Univ., Rome, ITA)
,
CHEN T. P.
(Nanyang Technological Univ., Singapore)
資料名:
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures
(Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures)
巻:
23
号:
3
ページ:
877-894
発行年:
2005年05月
JST資料番号:
E0974A
ISSN:
1071-1023
CODEN:
JVTBD9
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
文献レビュー
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)