文献
J-GLOBAL ID:200902250284640118
整理番号:07A1114510
プラズマ処理表面の安定性
Stability of Plasma-Treated Surfaces
著者 (1件):
IRIYAMA Yu
(Univ. Yamanashi, Kofu, JPN)
資料名:
真空
(Journal of the Vacuum Society of Japan)
巻:
50
号:
10
ページ:
615-618
発行年:
2007年10月20日
JST資料番号:
G0194A
ISSN:
0559-8516
CODEN:
SHINA
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
文献レビュー
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)