文献
J-GLOBAL ID:200902250370279428
整理番号:08A0557406
高エネルギーX線誘起エッチングによるポリテトラフルオロエチレンミクロ部品の作製
Fabrication of Poly(tetrafluoroethylene) Microparts by High-Energy X-ray-Induced Etching
著者 (6件):
UKITA Yoshiaki
(Univ. Hyogo, Hyogo, JPN)
,
KISHIHARA Mitsuyoshi
(Okayama Prefectural Univ., Okayama, JPN)
,
KANDA Kazuhiro
(Univ. Hyogo, Hyogo, JPN)
,
MATSUI Shinji
(Univ. Hyogo, Hyogo, JPN)
,
MOCHIJI Kozo
(Univ. Hyogo, Hyogo, JPN)
,
UTSUMI Yuichi
(Univ. Hyogo, Hyogo, JPN)
資料名:
Japanese Journal of Applied Physics
(Japanese Journal of Applied Physics)
巻:
47
号:
1 Issue 1
ページ:
337-341
発行年:
2008年01月25日
JST資料番号:
G0520B
ISSN:
0021-4922
CODEN:
JJAPB6
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)