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文献
J-GLOBAL ID：200902250497106042
整理番号：07A0013652
ビーム誘起・励起効果 電子線照射効果を用いたナノ構造作製
Energetic beam effects and their applications Nanostructure fabrication using electron beam induced deposition
三石和貴
(物質・材料研究機構 超高圧電子顕微鏡ステーション)
,
LIU Zhiquan
(物質・材料研究機構 超高圧電子顕微鏡ステーション)
,
下条雅幸
(埼玉工大 先端科研)
,
竹口雅樹
(物質・材料研究機構 超高圧電子顕微鏡ステーション)
,
田中美代子
(物質・材料研究機構 超高圧電子顕微鏡ステーション)
,
古屋一夫
(物質・材料研究機構 超高圧電子顕微鏡ステーション)
資料名：
顕微鏡
(Microscopy)
巻： 41 号： 3 ページ： 164-166 発行年： 2006年11月30日
JST資料番号： Y0541A ISSN： 1349-0958 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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