文献
J-GLOBAL ID:200902250649356090
整理番号:09A0523277
シリコーン使用マイクロコンタクト印刷によるULSI銅微小ワイヤリング
Formation of ULSI Cu Minute Wiring Through Microcontact Printing Using Silicone
著者 (3件):
NAKAJIMA Katsuyuki
(Konan Univ., Kobe-shi, JPN)
,
AKAMATSU Kensuke
(Konan Univ., Kobe-shi, JPN)
,
NAWAFUNE Hidemi
(Konan Univ., Kobe-shi, JPN)
資料名:
International Conference on Electronics Packaging
(International Conference on Electronics Packaging)
巻:
2009
ページ:
927-930
発行年:
2009年
JST資料番号:
L6010A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)