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文献
J-GLOBAL ID：200902250837479710
整理番号：03A0663139
高純度電子的特殊ガスにおける痕跡量水分の測定技術
Techniques for the measurement of trace moisture in high-purity electronic specialty gases
FUNKE H H
(Matheson Tri-Gas Inc., Colorado)
,
GRISSOM B L
(Matheson Tri-Gas Inc., Colorado)
,
MCGREW C E
(Matheson Tri-Gas Inc., Colorado)
,
RAYNOR M W
(Matheson Tri-Gas Inc., Colorado)
資料名：
Review of Scientific Instruments
(Review of Scientific Instruments)
巻： 74 号： 9 ページ： 3909-3933 発行年： 2003年09月
JST資料番号： D0517A ISSN： 0034-6748 CODEN： RSINAK 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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