文献
J-GLOBAL ID:200902250849959580
整理番号:06A0599010
微細パターンをもつFIBミリングによるガラス状炭素モールドの機械的性質とモルフォロジー特性への熱処理条件の効果
The effect of heat-treatment conditions on mechanical and morphological properties of a FIB-milled glassy carbon mold with micro patterns
著者 (5件):
YOUN S W
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)
,
TAKAHASHI M
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)
,
GOTO H
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)
,
KOBAYASHI T
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)
,
MAEDA R
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)
資料名:
Journal of Micromechanics and Microengineering
(Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻:
16
号:
7
ページ:
1277-1284
発行年:
2006年07月
JST資料番号:
W1424A
ISSN:
0960-1317
CODEN:
JMMIEZ
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)