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文献
J-GLOBAL ID：200902251662312260
整理番号：05A0908990
FIB-CVD法を用いて作製したDLCの機械的特性に対する熱処理効果
Influence of Heat Treatment on Mechanical Properties of DLC Deposited by FIB-CVD
SAKAMOTO Naomichi
(Iwaki Meisei Univ., Iwaki, JPN)
,
KOGO Yasuo
(Tokyo Univ. Sci., Noda, JPN)
,
YASUNO Takuya
(Iwaki Meisei Univ., Iwaki, JPN)
,
TANIGUCHI Jun
(Tokyo Univ. Sci., Noda, JPN)
,
MIYAMOTO Iwao
(Tokyo Univ. Sci., Noda, JPN)
資料名：
JSME International Journal. Series A. Solid Mechanics and Material Engineering (Japan Society of Mechanical Engineers)
(JSME International Journal. Series A. Solid Mechanics and Material Engineering (Japan Society of Mechanical Engineers))
巻： 48 号： 4 ページ： 275-279 発行年： 2005年10月15日
JST資料番号： G0026B ISSN： 1344-7912 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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