前のページに戻る
この文献は全文を取り寄せることができます
JDreamⅢ複写サービスから文献全文の複写（冊子体のコピー）をお申込みできます。
ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です。
ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です。
既に、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDをお持ちの方
JDreamⅢ複写サービスのご利用が初めての方
取り寄せる文献のタイトルと詳細
文献
J-GLOBAL ID：200902251965067536
整理番号：09A0363046
最先端リソグラフィー技術とGate-first MG/HKプロセス技術を用いたコスト競争力のある32nm世代CMOS Platform Technology
A Cost-Conscious 32nm CMOS Platform Technology with Advanced Single Exposure Lithography and Gate-First Metal Gate/High-K Process
長谷川俊介
(東芝)
,
北村陽介
(東芝)
,
高畑和宏
(東芝)
,
岡本浩樹
(東芝)
,
宮下桂
(東芝)
,
石田達也
(東芝)
,
青田正司
(東芝)
,
東篤志
(東芝)
,
福島崇
(東芝)
,
原川秀明
(東芝)
,
猪原正弘
(東芝)
,
犬宮誠治
(東芝)
,
石塚竜嗣
(東芝)
,
小島健嗣
(東芝)
,
小向敏章
(東芝)
,
長友浩二
(東芝)
,
松永範昭
(東芝)
,
三本木省次
(東芝)
,
中嶋一明
(東芝)
,
中塚圭祐
(東芝)
,
西郡正人
(東芝)
,
野町映子
(東芝)
,
小川竜二
(東芝)
,
岡本晋太郎
(東芝)
,
岡野公俊
(東芝)
,
沖知普
(東芝)
,
小野田裕之
(東芝)
,
佐々木俊行
(東芝)
,
佐竹正城
(東芝)
,
鈴木陽子
(東芝)
,
内海邦明
(東芝)
,
渡部忠兆
(東芝)
,
吉水康人
(東芝)
,
成瀬宏
(東芝)
,
中山武雄
(東芝)
,
松岡史倫
(東芝)
,
平井友洋
(NEC Electronics)
,
相澤宏一
(NEC Electronics)
,
長谷川英司
(NEC Electronics)
,
岩本敏幸
(NEC Electronics)
資料名：
電気学会電子デバイス研究会資料
(電気学会研究会資料)
巻： EDD-09 号： 34-49 ページ： 5-9 発行年： 2009年03月09日
JST資料番号： Z0910A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
JDreamⅢ複写サービスとは
JDreamⅢ複写サービスは、学術文献の全文を複写（コピー）して取り寄せできる有料サービスです。インターネットに公開されていない文献や、図書館に収録されていない文献の全文を、オンラインで取り寄せることができます。J-GLOBALの整理番号にも対応しているので、申し込みも簡単にできます。全文の複写（コピー）は郵送またはFAXでお送りします
※ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です
※初めてご利用される方は、JDreamⅢ複写サービスのご案内をご覧ください。
※ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です
※初めてご利用される方は、JDreamⅢ複写サービスのご案内をご覧ください。