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文献
J-GLOBAL ID：200902252032568395
整理番号：05A0518914
DLC薄膜の特性に及ぼす電子温度の影響
Effect of electron temperature on the DLC film properties
IKENAGA Noriaki
(Japan Sci. and Technol. Corp., Ishikawa, JPN)
,
AWAZU Kaoru
(Industrial Res. Inst. of Ishikawa, Ishikawa, JPN)
,
SAKUDO Noriyuki
(Kanazawa Inst. of Technol., Ishikawa, JPN)
,
YASUI Haruyuki
(Industrial Res. Inst. of Ishikawa, Ishikawa, JPN)
,
KAWABATA Takeshi
(Japan Sci. and Technol. Corp., Ishikawa, JPN)
資料名：
Surface & Coatings Technology
(Surface & Coatings Technology)
巻： 196 号： 1/3 ページ： 226-230 発行年： 2005年06月22日
JST資料番号： D0205C ISSN： 0257-8972 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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