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文献
J-GLOBAL ID：200902252247024000
整理番号：03A0845789
サブミクロンV溝の超精密マイクロ切削
森田晋也
(理研)
,
石川惣一
(理研)
,
鈴木亨
(理研)
,
上原嘉宏
(理研)
,
片平和俊
(理研)
,
林偉民
(理研)
,
大森整
(理研)
,
竹内芳美
(大阪大)
資料名：
精密工学会大会学術講演会講演論文集
(精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2003 号： 春季(CD-ROM) ページ： 356 発行年： 2003年03月05日
JST資料番号： Y0914A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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