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文献
J-GLOBAL ID：200902252394220931
整理番号：09A1129902
原子間力顕微鏡による試料表面トポグラフィーの精度改良
Improving Accuracy of Sample Surface Topography by Atomic Force Microscopy
XU Mingsheng
(National Inst. Materials Sci., Ibaraki, JPN)
,
FUJITA Daisuke
(National Inst. Materials Sci., Ibaraki, JPN)
,
ONISHI Keiko
(National Inst. Materials Sci., Ibaraki, JPN)
,
MIYAZAWA Kunichi
(National Inst. Materials Sci., Ibaraki, JPN)
資料名：
Journal of Nanoscience and Nanotechnology
(Journal of Nanoscience and Nanotechnology)
巻： 9 号： 10 ページ： 6003-6007 発行年： 2009年10月
JST資料番号： W1351A ISSN： 1533-4880 CODEN： JNNOAR 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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