文献
J-GLOBAL ID:200902252893025244
整理番号:03A0206494
薄膜金属ガラス製三次元微細構造のマイクロフォーミング
Microforming of Three-Dimensional Microstructures From Thin-Film Metallic Glass.
著者 (3件):
JEONG H-W
(Tokyo Inst. Technol., Kanagawa, JPN)
,
HATA S
(Tokyo Inst. Technol., Kanagawa, JPN)
,
SHIMOKOHBE A
(Tokyo Inst. Technol., Kanagawa, JPN)
資料名:
Journal of Microelectromechanical Systems
(Journal of Microelectromechanical Systems)
巻:
12
号:
1
ページ:
42-52
発行年:
2003年02月
JST資料番号:
W0357A
ISSN:
1057-7157
CODEN:
JMIYET
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)