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文献
J-GLOBAL ID：200902252981229038
整理番号：05A0905239
反射偏光解析法に基づく透明基板上の膜厚の測定 I 高屈折率の付加層の光学的効果
Thickness measurements on transparent substrates based on reflection ellipsometry. I. Optical effects of high-refractive-index additional layers.
OTSUKI Soichi
(National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol.(AIST), Takamatsu, JPN)
,
OHTA Koji
(Photonics Res. Inst., AIST, Osaka, JPN)
,
TAMADA Kaoru
(Tokyo Inst. Technol., Kanagawa, JPN)
,
WAKIDA Shin-ichi
(Human Stress Signal Res. Center, AIST, Osaka, JPN)
資料名：
Applied Optics
(Applied Optics)
巻： 44 号： 28 ページ： 5910-5918 発行年： 2005年10月01日
JST資料番号： B0026B ISSN： 1559-128X CODEN： APOPAI 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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