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文献
J-GLOBAL ID：200902253117547415
整理番号：04A0658197
集束イオンビーム技術を用いて微小カンチレバー上にナノ電気機械的デバイスを組み立てるための方法
A Method for Assembling Nano-Electromechanical Devices on Microcantilevers Using Focused Ion Beam Technology
NAMATSU M N
(NTT Corp., Atsugi, JPN)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 43 号： 7B ページ： 4624-4628 発行年： 2004年07月30日
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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