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文献
J-GLOBAL ID:200902253290751664   整理番号:03A0506405

光硬化性ポリマーを用いたナノリソグラフィにおけるラインエッジ粗さの評価

Evaluation of Line Edge Roughness in Nanoimprint Lithography Using Photocurable Polymer
著者 (5件):
KURASHIMA Y
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)
KOMURO M
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)
HIROSHIMA H
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)
TANIGUCHI J
(Tokyo Univ. Sci., Chiba, JPN)
MIYAMOTO I
(Tokyo Univ. Sci., Chiba, JPN)

資料名:
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)

巻: 42  号: 6B  ページ: 3871-3873  発行年: 2003年06月30日 
JST資料番号: G0520B  ISSN: 0021-4922  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 英語 (EN)
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