文献
J-GLOBAL ID:200902253484790776
整理番号:04A0570470
ラジカル窒化過程におけるエネルギーバンドギャップ形成機構のSTM/STS解析
Analysis of Formation Mechanism of the Energy Bandgap in the Radical Nitridation Process
著者 (6件):
近藤博基
(名古屋大 大学院工学研究科)
,
河合圭吾
(名古屋大 大学院工学研究科)
,
宮崎香代子
(名古屋大 大学院工学研究科)
,
酒井朗
(名古屋大 大学院工学研究科)
,
財満鎮明
(名古屋大 大学院工学研究科)
,
安田幸夫
(名古屋大 大学院工学研究科)
資料名:
電子情報通信学会技術研究報告
(IEICE Technical Report (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))
巻:
104
号:
134(SDM2004 35-46)
ページ:
27-32
発行年:
2004年06月21日
JST資料番号:
S0532B
ISSN:
0913-5685
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
短報
発行国:
日本 (JPN)
言語:
日本語 (JA)