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文献
J-GLOBAL ID：200902253866845783
整理番号：06A0602577
限定厚さのダイヤモンド基板表面に集中したマイクロ波プラズマのシミュレーション
Simulation of microwave plasmas concentrated on the top surface of a diamond substrate with finite thickness
YAMADA Hideaki
(Diamond Res. Center, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), 1-8-31 Midorigaoka, Ikeda ...)
,
CHAYAHARA Akiyoshi
(Diamond Res. Center, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), 1-8-31 Midorigaoka, Ikeda ...)
,
MOKUNO Yoshiaki
(Diamond Res. Center, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), 1-8-31 Midorigaoka, Ikeda ...)
,
HORINO Yuji
(Diamond Res. Center, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), 1-8-31 Midorigaoka, Ikeda ...)
,
SHIKATA Shinichi
(Diamond Res. Center, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), 1-8-31 Midorigaoka, Ikeda ...)
資料名：
Diamond and Related Materials
(Diamond and Related Materials)
巻： 15 号： 9 ページ： 1383-1388 発行年： 2006年09月
JST資料番号： W0498A ISSN： 0925-9635 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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