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J-GLOBAL ID：200902254348264358 整理番号：06A0540528

数値制御プラズマCVMによる水晶ウエハの高精度加工に関する研究-回転電極とパイプ電極を併用した数値制御加工による水晶ウエハ厚さの均一化-

Improvement of Thickness Uniformity of Quartz Crystal Wafer by Numerically Controlled Plasma CVM-Correction of Thickness Distribution of Quartz Crystal Wafer by Numerically Controlled Machining Utilizing Pipe Electrode-

著者 (7件)：

柴原正文

(兵庫県工技セ)

山村和也

(大阪大大学院工学研究科超精密科学研究セ)

佐野泰久

(大阪大大学院工学研究科)

杉山剛

(大阪大大学院工学研究科)

山本雄介

(大阪大大学院工学研究科)

遠藤勝義

(大阪大大学院工学研究科超精密科学研究セ)

森勇蔵

(大阪大大学院工学研究科超精密科学研究セ)

資料名：

精密工学会誌(CD-ROM) (精密工学会誌論文集)

巻： 72 号： 7 ページ： 934-938 発行年： 2006年07月05日
JST資料番号： F0268B ISSN： 1348-8716 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

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