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文献
J-GLOBAL ID：200902254583501723
整理番号：06A0161574
DC-PACVD装置を用いた大規模生産におけるDLC-Siコーティング
Investigation of DLC-Si coatings in large-scale production using DC-PACVD equipment
NAKANISHI K.
(Toyota Central R&D Labs. Inc., Nagakute, Aichi, 480-1192, JPN)
,
MORI H.
(Toyota Central R&D Labs. Inc., Nagakute, Aichi, 480-1192, JPN)
,
TACHIKAWA H.
(Toyota Central R&D Labs. Inc., Nagakute, Aichi, 480-1192, JPN)
,
ITOU K.
(NDK, Inc., 4-3-15 Minami-Hashimoto, Sagamihara, Kanagawa, 229-1133, JPN)
,
FUJIOKA M.
(NDK, Inc., 21-1 Kakesita, Kutukake, Toyoake, Aichi, 470-1101, JPN)
,
FUNAKI Y.
(NDK, Inc., 4-3-15 Minami-Hashimoto, Sagamihara, Kanagawa, 229-1133, JPN)
資料名：
Surface & Coatings Technology
(Surface & Coatings Technology)
巻： 200 号： 14-15 ページ： 4277-4281 発行年： 2006年04月10日
JST資料番号： D0205C ISSN： 0257-8972 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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