文献
J-GLOBAL ID:200902254616150530
整理番号:06A0454871
MEMSへのナノ結晶金属の応用に向けて
Towards the application of nanocrystalline metals in MEMS
著者 (3件):
BAGHBANAN Mohammadreza
(Univ. Toronto, ON, CAN)
,
ERB Uwe
(Univ. Toronto, ON, CAN)
,
PALUMBO Gino
(Integran Technol. Inc., Ontario, CAN)
資料名:
Physica Status Solidi. A. Applications and Materials Science
(Physica Status Solidi. A. Applications and Materials Science)
巻:
203
号:
6
ページ:
1259-1264
発行年:
2006年05月
JST資料番号:
D0774A
ISSN:
1862-6300
CODEN:
PSSABA
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
ドイツ (DEU)
言語:
英語 (EN)