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文献
J-GLOBAL ID：200902254617190870
整理番号：04A0543856
フォトナノインプリント用低ライン端粗さのモールド製作
Fabrication of Low Line Edge Roughness Mold for Photo-Nanoimprint
KURASHIMA Y
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)
,
HIROSHIMA H
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)
,
KOMURO M
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)
,
KIM S H
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)
,
YAMAZAKI N
(Tokyo Univ. Sci., Chiba, JPN)
,
TANIGUCHI J
(Tokyo Univ. Sci., Chiba, JPN)
,
MIYAMOTO I
(Tokyo Univ. Sci., Chiba, JPN)
,
NAMATSU H
(NTT LSI Lab., Kanagawa, JPN)
,
MATSUI S
(Himeji Inst. of Technol., Hyogo, JPN)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 43 号： 6B ページ： 4045-4049 発行年： 2004年06月30日
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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