文献
J-GLOBAL ID:200902254818961956
整理番号:04A0504117
レジストフィルム上の微小欠陥(Micro Defect)で捕捉されるマイクロバブル(Micro Bubbles)
Micro Bubbles Captured at Micro Defect on Resist Film
著者 (2件):
ENDO H
(Nagaoka Univ. Technol., Niigata, JPN)
,
KAWAI A
(Nagaoka Univ. Technol., Niigata, JPN)
資料名:
Journal of Photopolymer Science and Technology
(Journal of Photopolymer Science and Technology)
巻:
17
号:
1
ページ:
105-106
発行年:
2004年
JST資料番号:
L0202A
ISSN:
0914-9244
CODEN:
JSTEEW
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)