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文献
J-GLOBAL ID：200902255294332561
整理番号：07A0988079
モンテカルロ法による高周波CF4プラズマ中電子エネルギー分布の特性解析
Analysis of electron energy distribution in radio-frequency CF4 plasma using Monte Carlo method
森直樹
(北大)
,
菅原広剛
(北大)
,
荒木田大嗣
(北大)
,
江口礼良
(北大)
,
須田善行
(北大)
,
酒井洋輔
(北大)
資料名：
電気学会プラズマ研究会資料
(電気学会研究会資料)
巻： PST-07 号： 42-61 ページ： 37-42 発行年： 2007年09月13日
JST資料番号： Z0951A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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