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文献
J-GLOBAL ID：200902255321728340
整理番号：05A0607335
(100)シリコン上の{110}反射面の異方性エッチングにおけるTriton界面活性剤の役割
The role of Triton surfactant in anisotropic etching of {1 1 0} reflective planes on (1 0 0) silicon
RESNIK Drago
(Univ. Ljubljana, Ljubljana, SVN)
,
VRTACNIK Danilo
(Univ. Ljubljana, Ljubljana, SVN)
,
ALJANCIC Uros
(Univ. Ljubljana, Ljubljana, SVN)
,
MOZEK Matej
(Univ. Ljubljana, Ljubljana, SVN)
,
AMON Slavko
(Univ. Ljubljana, Ljubljana, SVN)
資料名：
Journal of Micromechanics and Microengineering
(Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻： 15 号： 6 ページ： 1174-1183 発行年： 2005年06月
JST資料番号： W1424A ISSN： 0960-1317 CODEN： JMMIEZ 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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