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文献
J-GLOBAL ID：200902255834698498
整理番号：04A0205152
超音波援用マイクロ研磨法による非球面研磨 卓上型マイクロ非球面研磨装置の試作とマイクロ非球面研磨の可能性検証
Aspherical polishing of ultrasonic assisted polishing Development of micro aspherical bench polishing machine and feasibility study of micro aspherical polishing
鈴木浩文
(神戸大)
,
宮原充
(豊橋技科大)
,
古瀬晶子
(豊橋技科大)
,
田中克敏
(東芝機械)
,
森脇俊道
(神戸大)
,
渋谷秀雄
(豊橋技科大)
資料名：
砥粒加工学会誌
(Abrasive Technology)
巻： 48 号： 3 ページ： 165-170 発行年： 2004年03月01日
JST資料番号： L0473A ISSN： 0914-2703 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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