文献
J-GLOBAL ID:200902255850125945
整理番号:05A0243202
作りこみ欠陥を有する完成チップの走査レーザSQUID顕微鏡による観測
Observation of completed LSI after building-in defect using laser-SQUID microscopy
著者 (2件):
酒井哲哉
(NECエレクトロニクス テスト評価技術開発事業部)
,
二川清
(NECエレクトロニクス テスト評価技術開発事業部)
資料名:
電子情報通信学会技術研究報告
(IEICE Technical Report (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))
巻:
104
号:
626(CPM2004 155-161)
ページ:
19-24
発行年:
2005年01月20日
JST資料番号:
S0532B
ISSN:
0913-5685
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
短報
発行国:
日本 (JPN)
言語:
日本語 (JA)