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文献
J-GLOBAL ID：200902256362506880
整理番号：05A0965729
3-N,N-ジメチルアミノジチオカルバモイル-1-プロパンスルホン酸を用いる無電解Cuボトムアップ充填
Electroless Cu Bottom-Up Filling Using 3-N,N-Dimethylaminodithiocarbamoyl-1-propanesulfonic acid
LEE Chang Hwa
(Seoul National Univ., Seoul, KOR)
,
CHO Sung Ki
(Seoul National Univ., Seoul, KOR)
,
KIM Jae Jeong
(Seoul National Univ., Seoul, KOR)
資料名：
Electrochemical and Solid-State Letters
(Electrochemical and Solid-State Letters)
巻： 8 号： 11 ページ： J27-J29 発行年： 2005年
JST資料番号： W1290A ISSN： 1099-0062 CODEN： ESLEF6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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