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文献
J-GLOBAL ID：200902256870038158
整理番号：06A0574186
絶対圧力測定のためのシリコン共鳴マイクロカンチレバー
Silicon resonant microcantilevers for absolute pressure measurement
BIANCO S.
(χ Lab, Materials and Microsystems Lab., Polytechnic of Turin, Lungo Piazza D’Armi 6, Chivasso, Turin 10034, ITA)
,
COCUZZA M.
(χ Lab, Materials and Microsystems Lab., Polytechnic of Turin, Lungo Piazza D’Armi 6, Chivasso, Turin 10034, ITA)
,
FERRERO S.
(χ Lab, Materials and Microsystems Lab., Polytechnic of Turin, Lungo Piazza D’Armi 6, Chivasso, Turin 10034, ITA)
,
GIURI E.
(χ Lab, Materials and Microsystems Lab., Polytechnic of Turin, Lungo Piazza D’Armi 6, Chivasso, Turin 10034, ITA)
,
PIACENZA G.
(χ Lab, Materials and Microsystems Lab., Polytechnic of Turin, Lungo Piazza D’Armi 6, Chivasso, Turin 10034, ITA)
,
PIRRI C. F.
(χ Lab, Materials and Microsystems Lab., Polytechnic of Turin, Lungo Piazza D’Armi 6, Chivasso, Turin 10034, ITA)
,
RICCI A.
(χ Lab, Materials and Microsystems Lab., Polytechnic of Turin, Lungo Piazza D’Armi 6, Chivasso, Turin 10034, ITA)
,
SCALTRITO L.
(χ Lab, Materials and Microsystems Lab., Polytechnic of Turin, Lungo Piazza D’Armi 6, Chivasso, Turin 10034, ITA)
,
BICH D.
(Olivetti I-Jet, Locality Le Vieux, Arnad, 11020 Aosta, ITA)
,
MERIALDO A.
(Olivetti I-Jet, Locality Le Vieux, Arnad, 11020 Aosta, ITA)
,
SCHINA P.
(Olivetti I-Jet, Locality Le Vieux, Arnad, 11020 Aosta, ITA)
,
CORREALE R.
(Varian SpA, Via Fratelli Varian 54, Leini, 10040 Turin, ITA)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures
(Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures)
巻： 24 号： 4 ページ： 1803-1809 発行年： 2006年07月
JST資料番号： E0974A ISSN： 1071-1023 CODEN： JVTBD9 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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