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文献
J-GLOBAL ID：200902256988902485
整理番号：05A0764078
パルスレーザ堆積ITO薄膜の性質に及ぼすレーザ照射エネルギー密度の効果
Effects of laser irradiation energy density on the properties of pulsed laser deposited ITO thin films
ADURODIJA F.O.
(Mount Allison Univ., N.B., CAN)
,
BRUENING R.
(Mount Allison Univ., N.B., CAN)
,
ASIA I.O.
(Ambrose Alli Univ., Ekpoma, NGA)
,
IZUMI H.
(Hyogo Prefectural Inst. of Industrial Res., Kobe, JPN)
,
ISHIHARA T.
(Hyogo Prefectural Inst. of Industrial Res., Kobe, JPN)
,
YOSHIOKA H.
(Hyogo Prefectural Inst. of Industrial Res., Kobe, JPN)
資料名：
Applied Physics. A. Materials Science & Processing
(Applied Physics. A. Materials Science & Processing)
巻： A81 号： 5 ページ： 953-957 発行年： 2005年10月
JST資料番号： D0256C ISSN： 0947-8396 CODEN： APHYCC 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： ドイツ (DEU) 言語： 英語 (EN)
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