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文献
J-GLOBAL ID：200902258604069385
整理番号：06A0288948
PtOx熱分解リソグラフィーを使用する超分解能近傍場構造リード・オンリー・メモリー・マスターディスクの高速製造
High-Speed Fabrication of Super-Resolution Near-Field Structure Read-Only Memory Master Disc using PtOx Thermal Decomposition Lithography
KURIHARA Kazuma
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., Ibaraki, JPN)
,
YAMAKAWA Yuzo
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., Ibaraki, JPN)
,
SHIMA Takayuki
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., Ibaraki, JPN)
,
NAKANO Takashi
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., Ibaraki, JPN)
,
KUWAHARA Masashi
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., Ibaraki, JPN)
,
TOMINAGA Junji
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., Ibaraki, JPN)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 45 号： 2B ページ： 1379-1382 発行年： 2006年02月28日
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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