文献
J-GLOBAL ID:200902258780458240
整理番号:09A0532977
超共形Cu無電解析出における2-メルカプト-5-ベンゾイミダゾールスルホン酸の効果
Effect of 2-Mercapto-5-benzimidazolesulfonic Acid in Superconformal Cu Electroless Deposition
著者 (4件):
LEE Chang Hwa
(Seoul National Univ., Seoul, KOR)
,
KIM Ae Rim
(Seoul National Univ., Seoul, KOR)
,
KOO Hyo-Chol
(Seoul National Univ., Seoul, KOR)
,
KIM Jae Jeong
(Seoul National Univ., Seoul, KOR)
資料名:
Journal of the Electrochemical Society
(Journal of the Electrochemical Society)
巻:
156
号:
6
ページ:
D207-D210
発行年:
2009年
JST資料番号:
C0285A
ISSN:
1945-7111
CODEN:
JESOAN
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)