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文献
J-GLOBAL ID：200902259129153755
整理番号：08A0442014
生体材料の選択性パターニング用直列Paryleneリフトオフプロセス
SEQUENTIAL PARYLENE LIFT-OFF PROCESS FOR SELECTIVE PATTERNING OF BIOLOGICAL MATERIALS
KURIBAYASHI K.
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
,
HIRATSUKA Y.
(Japan Advanced Inst. Sci. and Technol. Hokuriku, Ishikawa, JPN)
,
YAMAMURA T.
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
,
TAKEUCHI S.
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
,
TAKEUCHI S.
(JST-PRESTO, Saitama, JPN)
資料名：
Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems
(Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems)
巻： 20th Vol.2 ページ： 618-621 発行年： 2007年
JST資料番号： W0377A ISSN： 1084-6999 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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