文献
J-GLOBAL ID:200902259136386544
整理番号:03A0506855
pとn層を多重スタックしたSiC横型超接合ダイオードの作製
Fabrication of SiC Lateral Super Junction Diodes With Multiple Stacking p- and n-Layers
著者 (5件):
MIURA M
(Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
,
NAKAMURA S
(Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
,
SUDA J
(Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
,
KIMOTO T
(Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
,
MATSUNAMI H
(Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
資料名:
IEEE Electron Device Letters
(IEEE Electron Device Letters)
巻:
24
号:
5
ページ:
321-323
発行年:
2003年05月
JST資料番号:
B0344B
ISSN:
0741-3106
CODEN:
EDLEDZ
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)