文献
J-GLOBAL ID:200902259188533200
整理番号:05A0154290
1T FeRAM用の(HfO2)x(Al2O3)1-xバッファ絶縁層を持つ長リテンション強誘電体ゲートFET
Long-Retention Ferroelectric-Gate FET with a (HfO2)x(Al2O3)1-x Buffer-Insulating Layer for 1T FeRAM
著者 (3件):
SAKAI S
(National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol., Ibaraki, JPN)
,
TAKAHASHI M
(National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol., Ibaraki, JPN)
,
ILANGOVAN R
(National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol., Ibaraki, JPN)
資料名:
Technical Digest. International Electron Devices Meeting
(Technical Digest. International Electron Devices Meeting)
巻:
2004
ページ:
915-918
発行年:
2004年
JST資料番号:
C0829B
ISSN:
0163-1918
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
短報
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)