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文献
J-GLOBAL ID：200902259270476789
整理番号：04A0511819
非晶質相から微結晶シリコンの核生成機構
Nucleation mechanism of microcrystalline silicon from the amorphous phase
FUJIWARA H
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)
,
KONDO M
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)
,
MATSUDA A
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)
資料名：
Journal of Non-Crystalline Solids
(Journal of Non-Crystalline Solids)
巻： 338/340 ページ： 97-101 発行年： 2004年06月15日
JST資料番号： D0642A ISSN： 0022-3093 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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