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文献
J-GLOBAL ID：200902259511610023
整理番号：04A0849210
ダイヤモンドを用いたデバイス作製のための新しいエッチングプロセス
New etching process for device fabrication using diamond
HWANG D S
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)
,
SAITO T
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)
,
FUJIMORI N
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)
資料名：
Diamond and Related Materials
(Diamond and Related Materials)
巻： 13 号： 11/12 ページ： 2207-2210 発行年： 2004年11月
JST資料番号： W0498A ISSN： 0925-9635 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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