文献
J-GLOBAL ID:200902259643667652
整理番号:08A1236671
低圧アークの表面粗さと陰極点の数の関係
Relation between surface roughness and number of cathode spots of a low-pressure arc
著者 (3件):
SATO Atsushi
(Musashi Inst. of Technol., Tokyo, JPN)
,
IWAO Toru
(Musashi Inst. of Technol., Tokyo, JPN)
,
YUMOTO Motoshige
(Musashi Inst. of Technol., Tokyo, JPN)
資料名:
Plasma Sources Science and Technology
(Plasma Sources Science and Technology)
巻:
17
号:
4
ページ:
045007,1-5
発行年:
2008年11月
JST資料番号:
W0479A
ISSN:
0963-0252
CODEN:
PSTEEU
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)