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文献
J-GLOBAL ID：200902259768128028
整理番号：09A1035288
Si/SiO2界面を横切る水素および重水素のシリコン中への浸入に対する同位体効果
Isotope Effect of Penetration of Hydrogen and Deuterium into Silicon through Si/SiO2 Interface
MURAKAMI Kouichi
(Univ. Tsukuba, Ibaraki, JPN)
,
FUKATA Naoki
(National Inst. Materials Sci., JPN)
,
FUKATA Naoki
(JST-PRESTO, Ibaraki, JPN)
,
ISHIOKA Kunie
(National Inst. Materials Sci., Ibaraki, JPN)
,
KITAJIMA Masahiro
(National Inst. Materials Sci., Ibaraki, JPN)
,
KITAJIMA Masahiro
(National Defense Acad. Japan, Kanagawa, JPN)
,
UCHIDA Noriyuki
(Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)
,
MORISAWA Kunitomo
(Univ. Tsukuba, Ibaraki, JPN)
,
MORIHIRO Haruhito
(Univ. Tsukuba, Ibaraki, JPN)
,
SHIRAKAWA Ryota
(Univ. Tsukuba, Ibaraki, JPN)
,
TSUJIMURA Masatoshi
(Univ. Tsukuba, Ibaraki, JPN)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics
(Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 48 号： 9,Issue 1 ページ： 091204.1-091204.4 発行年： 2009年09月25日
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 CODEN： JJAPB6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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